氧化锌薄膜的p型掺杂及光学和电学性质
1.1 实验所需测量仪器 以Kratos公司生产的分析仪器进行XPS测量;能量为1486.6eV的Al Ka射线阳极功率为225W的激光光源;束缚能采取碳氢化合物Cls的284.8eV峰作为能量校正;XRD测试采取DMAX2400型X射线衍射谱;测角仪设置,防散狭缝及发散狭缝均为1°,接收狭缝为0.30 mm;扫描速度为4°/min,扫描范围在20°~80°之间;使用SMS1000型霍尔测量仪进行掺杂活性原子N的ZnO薄膜Hall测量;使用F-2500型光谱仪进行吸收光谱及光致发光光谱测量;PL...